经过几年的孕育，2022年，中国电镜产业化发展亮眼，国产电镜新品发布从数量到技术水准都可圈可点。2022年，中国国产品牌已与进口品牌平分秋色。

  近年来，在国家政策支持下，中国电镜产业化发展呈现复苏。经过几年的孕育，2022年，中国电镜产业化发展亮眼，国产电镜新品发布从数量到技术水准都可圈可点。

  扫描电镜方面，“国产”元素氛围拉满，除了国产品牌的9款纷纷亮相，赛默飞本土化的首款国产扫描电镜也完成下线。国产新品技术丰富，且可圈可点。不仅覆盖低中高端的钨灯丝、场发射产品，国仪量子突破传统钨灯丝电镜极限、纳克微束低压高分辨可搭载FIB、泽攸科技台式电镜放大倍率提升至20万倍等都给业界留下深刻印象。

  SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。大景深，成像富有立体感。有着非常丰富的扩展性，SEM3200接口丰富，除支持常规二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了电子背散射衍射（EBSD）、阴极射线（CL）等探测器接口。

  惠然科技【公布产品系列计划】“FE-SEM整机”系列新产品：“风、雅、颂”

  F6000普适型热场发射扫描式电子显微镜系统，采用惠然科技自主研发的电子光学系统，具有行业标准的纳米级分辨率，配置多种类型探测器，可实现二次电子和背散射电子同时成像，兼容多种应用模式，可覆盖生命科学、材料科学、失效分析、地质科学等多学科科研应用场景，标配五轴高精度运动平台及自主设计样品载台，可实现多个钉台同时放样或单一大尺寸样品的观测。

  ZEM20与上一代电镜ZEM15相比，放大倍率从15万倍率提升到了20万倍率，达到行业顶级水平。 与电镜ZEM15、ZEM18相比，样品台升级为五轴电动，换样时间缩短到30s，极大地提升了观测的灵活性与便利性。ZEM20实现了钨灯丝和LaB6灯丝的随意切换，不仅延长了灯丝常规使用的寿命，也比单一钨灯丝有更好的分辨率。 此外，ZEM20的样品台从30mmx30mm，提升到50mmx50mm，样品仓从直径50mm、高度35mm，提升到直径52mm，高度75mm，观测范围极大的提升。 最值得一提的是，电镜ZEM20增加了低真空模式，无需镀膜就可以完成对不导电样品的优质成像。

  FE-1050系列高分辨（场发射）扫描电镜，是国内首款低电压高分辨力扫描电镜，也是国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的大型场发射电镜平台。其拥有卓越的成像性能，稳定可靠的运行记录，以及智能的操作体验。 FE-1050系列配备新一代电子光学镜筒，具备优越电子光学性能。在保证高电压分辨力的前提下，重点优化了低电压下的分辨力，低压分辨能力实现1.5nm@1kV，达到国际领先水平。具备宽大的主线mm（L×W×H），最大可进入Φ300mm×50mm的大型样品。多达27个附件端口的数量，让FE-1050系列扫描电镜成为目前可扩展性最强的扫描电镜之一。

  2022年，赛默飞将部分扫描电镜生产线月初实现Axia ChemiSEM扫描电镜的量产，以实现用户对于采购国产高性能电镜的需求。Axia在功能设计上融入了很多“中国元素”，在使用方面也更贴合国内用户的习惯。作为第一个引入中国生产的扫描电子显微镜，Axia ChemiSEM是一款具有领先设计理念的产品，它重新定义了扫描电镜的工作流程，集分析，成像于一体化，让使用体验更加愉悦。

  SEM2000是一款基础款的多功能分析性钨灯丝扫描电镜。20kV分辨率能做到3.9nm，支持升级30kV电压，可观察亚微级尺度样品的微观结构信息。拥有比台式电镜更大的移动范围，适用于快速筛选待测样品，更多的扩展接口，可搭载BSED、EDS等附件，使应用领域更广。特点包括纯中文的操作界面、完善的自动化功能、丰富的测量工具等。

  SEM3300 是新新一代钨灯丝扫描电子显微镜，分辨率优于2.5nm。特殊的电子光路设计，突破钨灯丝分辨率极限，在低电压 1 kV 下，达到 5 nm 的分辨率。拥有出色的成像质量、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。大景深，成像富有立体感。丰富的扩展性，帮助用户在显微成像的世界中尽情探索。

  SEM4000是一款分析型热场发射扫描电子显微镜，配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。无漏磁物镜设计，可直接观察磁性样品，三级磁透镜设计，束流最大可达200 nA，且连续可调，在EDS、EBSD、WDS等应用上有着非常明显优势。支持低真空模式，可直接观察导电性弱或不导电样品。标配的光学导航模式，以及直观的操作界面，让用户的分析工作倍感轻松。

  全新推出的场发射扫描电镜Sigma 360和Sigma 560，传承GEMINI电子镜筒的优良性能，尤其是低电压性能方面得到了极大提升。 主要亮点包括：高分辨（GEMINI电子光学技术再升级，分辨率逐步提升，低电压效果更加优秀）、全分析（全新NanoVP Lite保证低真空EDS分析精度；电子通道衬度成像（ECCI）；无漏磁物镜搭配EBSD；Raman-SEM联用系统等）、多扩展（全自动原位实验平台，冷冻传输分析系统，高精度电子束直写(EBL)平台等）、强智能（SmartSEM Touch定制软件；ZEN软件；Connect模块等）、广应用（广泛的应用适用性，无论是材料科学研究、工业检测、生命科学领域，行行覆盖，样样拿手）。

  透射电镜方面，品牌屈指可数的市场迎来新玩家，泰思肯不走寻常路，加入便高调推出高度集成、旋进辅助的分析型4D- STEM。日本电子和赛默飞先后推出了新款200kV冷冻电镜。时隔7年，Delong Instruments发布了其经典紧凑型透射电镜LVEM 25的全新升级新品LVEM 25E，除了一贯的通用紧凑该设备配备了TEM、STEM、SEM、EDS和ED五种成像和分析模式。

  新一代200KV冷场发射冷冻电镜CRYO ARM™ 200 II (JEM-Z200CA), 大多数都用在蛋白质的单颗粒分析。不但配置了冷场发射电子枪，镜筒内的欧米伽能量过滤器等日本电子的独门绝技，还专门研制了一款高分辨极靴。主要特征包括：为单颗粒分析研究优化的电子光学系统（全新的高分辨极靴色差系数(Cc) 1.8 mm， 球差系数(Cs) 1.5mm，可获得高分辨兼顾高衬度的数据；配合冷场发射电子枪和欧米伽能量过滤器，可获得更好高分辨数据）、更好的可操作性（增加了欧米伽过滤器的自动校正系统和菲涅尔光环消减系统）、更高的稳定性（真空系统和冷冻系统来进行了逐步优化）等。

  新一代LVEM 25E低电压电子显微镜，该设备配备了TEM、STEM、SEM、EDS和ED五种成像和分析模式，将材料表征研究推向新的高度。超快的样品切换和增强的自动化功能使LVEM 25E成为常规成像应用中实用且易用的工具。LVEM 25E能从标准制备的样品中获得对比度好、细节丰富的图像，并能在减少染色的情况下获得同等细节水平的图像。LVEM 25E不但可以测量内部和外部结构，还可以分析样品的化学成分，所有这些功能均在一台设备上完成。

  Glacios 2 冷冻透射电子显微镜可帮助用户从各种生物靶标中轻松收集近原子数据。与上一代产品相比，Glacios 2具有更高的通量，而且提升了冷冻电镜的易用性。其配备了集成式 Thermo Scientific Falcon 4i 直接电子探测器、Thermo Scientific EPU 软件和全新的完整机身，致力提高图像质量、实现数据采集自动化并简化您的工作流程。Glacios 2非常适用于单颗粒分析、冷冻电子断层扫描 (cryo-ET) 和微电子衍射 (MicroED)。特点还包括，Glacios 2新一代解决方案可以对样本做高分辨率的3D重构（分辨率最高可达到2 埃以下），与其前身相比，Glacios 2可以更快的获取图。Glacios 2的强大功能能帮助不同经验水平的用户提升工作效率等。

  TESCAN TENSOR是首个高度集成的4D STEM，采用100kV的肖特基场发射电子枪，并集成了旋进电子衍射和直读电子探测器，具有超快的采集和实时分析速度。而且创新的操作软件使得 4D STEM 的操作变得像SEM一样容易使用，即使是新手也能快速上手。TESCAN TENSOR 是一款中等加速电压、近超高线D-STEM， 用于多模态表征功能材料、薄膜、天然和合成颗粒的纳米形态、化学和结构特性，具有非常出色的4D-STEM 性能和广泛的普遍适用性。

  Centrios HX这种先进的电路编辑解决方案使半导体制造商可以通过对当今领先设备的高分辨率成像和精确编辑来优化成功率。随着半导体器件慢慢的变复杂，需要更高精度的电路编辑工具来优化产品功能并交付原型以保持项目正常进行。与其他商用解决方案相比，Centrios HX 及其新型 Celta FIB 柱为复杂的电路修改提供了更高水平的分辨率、束流和着陆能量，而不会对电路性能或完整性产生不利影响。这项创新使半导体制造商能够加快上市时间，同时最大限度地降低与掩模相关的开发成本。

  Thermo Scientific Arctis 冷冻等离子体聚焦离子束专为自动化冷冻电子断层扫描成像样品的制备而设计。用户都能够稳定地在原位制备厚度约为 200nm 或更薄的冷冻薄片，同时避免产生镓 (Ga) 离子注入效应。与目前市场上的其他 cryo-FIB-SEM 系统相比，Arctis Cryo-PFIB 可明显提高样品制备通量。通过自动上样系统，可自动上样、自动处理样品并且可存储多达 12 个冷冻样品。与任何配备自动上样器的冷冻透射电镜直接联用，省去了在 FIB-SEM 和透射电镜之间的手动操作载网和转移的步骤。

  小结：扫描电镜之争白热化 国产与进口开启直接对线年电镜新品发布踊跃，统计的18台新品中：扫描电镜12台，透射电镜4台，聚焦离子束显微镜2台。品类来看，扫描电镜新品过半，各品牌的竞争继续白热化。国产电镜方面，“国产”元素愈加活跃，扫描电镜多种产品技术均有覆盖，且向高端产品技术蔓延，毫无疑问，中国市场需求的增长背景下，国产与进口已经开启直接对话。

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