仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表明上进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面上的质量的2D、3D

  VT6000共聚焦显微镜可大范围的应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供相关依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

  (3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再做测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，就可以快速实现批量测量功能；

  (5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

  (6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

  单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；

  2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。

  测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采取了激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。

  在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作的步骤中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。

  在我国是80年代后期才发展起来的，尽管时日还尚短，但应用场景范围却已经很广泛。

  形貌检测技术，大范围的应用于涉足超精密加工领域的三维形貌检测与表面上的质量检测方案。其中，VT6000系列

  ，是用于对各种精密器件及材料表明上进行微纳米级测量的检验测试仪器。材料科学的目标是研究材料表面结构对

  拍摄，通过所累积的不同焦平面的图像序列，使用软件编译完整的 3d 图像。

  怎么拍3D成像 /

  图像的光学分辨率和对比度。在图像形成中。捕获样品中不同深度的多个二维图像可重建三维结构（此过程称为光学切片）。该技术广泛用于

  ？ /

  、激光光源、扫描装置、检测器、计算机系统(包括数据采集，处理，转换，应用软件)、图像输出设备、光学装置和

  的结构 /

  ，是用于对各种精密器件及材料表明上进行微纳米级测量的检验测试仪器。高度测量分辨率达到0.5nm。

  能看到多少纳米？ /

  、激光光源、扫描装置、检测器、计算机系统(包括数据采集，处理，转换，应用软件)、图像输出设备、光学装置和

  有几类？ /

  ，是用于对各种精密器件及材料表明上进行微纳米级测量的检验测试仪器。VT6000激光

  材料科学的目标是研究材料表面结构对于其表面特性的影响。因此，高分辨率分析

  的用途 /

  主要采用3D捕获的成像技术，它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力。原理共焦

  原理 /

  接收到样品发出的光的能力）和高数值孔径物镜（镜头的放大倍数），使成像更清晰细致。

  成像质量更好？ /

  能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，可以有明显效果地提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助

  应用特点 /

  艾为第3代高灵敏度可编程电容触控芯片AW933xx系列，实现可靠人体接近检测和精准触摸手势识别

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